Filtro de gas

de tamizde desempolvadode alto caudal

Filtración de alta precisión, de alto flujo y totalmente metálica, diseñada específicamente para los ensamblajes del Sistema Integrado de Gas (IGS). Mott High Purity, que durante años ha suministrado filtros de metal poroso y limitadores de flujo para la fabricación de semiconductores, también ofrece estos mismos productos en diseños compatibles con IGS. Así que ahora puede combinar la facilidad de instalación, la accesibilidad de los componentes pegados, la facilidad de mantenimiento, la reducción del tiempo de montaje y la compatibilidad entre los componentes típicos de IGS, con las ventajas de selección y rendimiento ofrecidas exclusivamente por Mott. La misión de Mott es proporcionar a los clientes soluciones únicas de filtración y control de flujo utilizando materiales diseñados específicamente para condiciones de operación exigentes, eficiencia de 9 LRV y control de flujo exacto. Nuestra línea completa de filtros y limitadores de flujo IGS está diseñada para ser compatible con las interfaces del sistema de gas que actualmente se especifican en las herramientas de proceso, gabinetes de gas e instalaciones de cajas de distribución de válvulas según SEMI 2787. A medida que han ido surgiendo los retos de la conversión a 300 mm, nuestra tecnología ha proporcionado las soluciones necesarias. Altas velocidades de flujo - Los medios de metal poroso de Mott tienen propiedades únicas que permiten la producción de una gama más amplia de opciones de flujo, material y configuración que nuestros competidores. Esta flexibilidad en la geometría proporciona filtros con caudales de hasta 100 slpm y cumple con los requisitos de envolvente de la industria. Gama completa de configuraciones de productos - Las ofertas de montaje modular IGS estándar de Mott incluyen la configuración de 1.125" con C-Seal o W-Seal, así como la versión de 1.5" con C-Seal o W-Seal. Tenemos el diseño que usted necesita.