Sistema de metrología para obleas Proforma 300i

para semiconductores

Alternativa rentable a los sistemas de medición e inspección de obleas totalmente automatizados El producto puede proporcionar la medición del espesor y el arco de todos los materiales de obleas, incluidos el silicio, el arseniuro de galio, el fosfuro de indio y el zafiro o la cinta Características El puerto USB frontal permite almacenar fácilmente las mediciones y otros datos en unidades flash Circuitos de capacitancia patentados por MTI Instruments para una precisión y fiabilidad extraordinarias Mediciones sin contacto rango de obleas de 76-300 mm de diámetro Anillos de medición de obleas opcionales Topes para obleas para un centrado exacto Interfaz Ethernet Software de control remoto completo (compatible con Windows) Obleas de calibración opcionales Acerca del sistema manual de metrología de semiconductores El medidor de espesor de obleas Proforma 300i es un sistema de medición diferencial basado en la capacitancia que realiza mediciones de espesor sin contacto de obleas semiconductoras y semiaislantes. Al utilizar la tecnología Push/Pull de MTI, el Proforma 300i no requiere que las obleas tengan una toma de tierra eléctrica consistente, lo que resulta en una precisión y repetibilidad excepcionales para la mayoría de los tipos de obleas. El sistema Proforma 300i incluye un software de control remoto completo y capacidad de interfaz de red Ethernet. *El arseniuro de galio requiere la reconfiguración de la sonda para los materiales semiaislantes de más de 10K-Ohm de resistencia aparente.