Sistema de fotolitografía 3D Photonic Professional GT

láser

Diseñan al profesional GT, la nueva generación de Photonic de los sistemas de la litografía del laser 3D de Nanoscribe, únicamente para abastecer a los trabajos micro y de la nano-fabricación hasta la tercera dimensión. la polimerización del Dos-fotón hace las estructuras altamente complejo-formadas del polímero con las características más minúsculas del secundario-micrómetro posibles. Estos sistemas utilizan la tecnología del galvo de la alta precisión que tiene un sistema galvánico del espejo para desviar la posición del foco del laser lateralmente, que conduce a un funcionamiento lejos superior de la escritura. Esto permite fabricar áreas grandes de 3D micro y de nanostructures en el tiempo más corto posible. La exploración rápida de la x-y-viga es seguida por una etapa piezoeléctrica de la exploración para la precisión extrema de los movimientos del x-y-z del substrato basado en la posición del foco del laser.