Navitar ha respondido a la creciente necesidad de ampliar aún más los límites de resolución de la inspección óptica desarrollando un objetivo NanoVue 248nm 4X Deep UV Zoom. El sistema óptico NanoVue trabaja en el ultravioleta profundo (DUV), lo que permite la detección y caracterización de defectos críticos para el rendimiento, duplicando el límite de resolución de los microscopios convencionales de luz visible.
- Sensibilidad de inspección para 90 nm.
- Rango de zoom de 75X a 300X cuando se combina con un objetivo de 100X.
- FOV de 0,15 a 0,037 mm con sensor de formato de 2/3" y objetivo de 100X.
- Inspección óptica por debajo de 0,1 um con objetivos Deep UV.
- La única solución de zoom UV profundo del sector.
El objetivo NanoVue Zoom es ideal para el desarrollo de nuevos productos OEM y la integración en instrumentos DUV que requieren un mayor rendimiento, lo que permite a los clientes desarrollar rápidamente instrumentos automatizados nuevos y flexibles con muchas funciones, menos costosos y de menor tamaño.
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