El MOHS es un acoplamiento flexible de tipo Oldham.
El espaciador está hecho de un plástico de ingeniería VESPEL SPC5000, que es superior en cuanto a resistencia al calor y a los productos químicos, y la cantidad de gas que sale a alta temperatura es muy baja.
El deslizamiento de los cubos y el espaciador permite aceptar la excentricidad y la desalineación angular.
La carga en el eje generada por la desalineación es pequeña y se reduce la carga en el eje.
La temperatura de funcionamiento permitida es de -20℃ a 200℃.
El lavado de la sala limpia/el embalaje de la sala limpia proporcionado como estándar
Puede ser utilizado en un ambiente o un cuarto limpio donde la resistencia al calor y la resistencia química se requieren, tal como equipo de la fabricación de FPD.
Aplicación
Dispositivo de fabricación de FPD / Dispositivo de fabricación de semiconductores
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