Sistema de manipulación automático NWL200

para microscopio de inspecciónde obleade producción

Los cargadores de obleas NWL200 innovadores y con todas las funciones de Nikon admiten una inspección completa de obleas de semiconductores de 6" (150mm) y 8" (200mm) de diámetro mediante microscopio óptico o sistemas de medición por video, por ejemplo, Nikon NEXIV. Cargador sofisticado y confiable para manejar una variedad de obleas La serie NWL es una excelente línea de cargadores de obleas de semiconductores de Nikon capaces de transferir obleas de 6″ (150mm) y 8″ (200mm) de diámetro hasta un grosor de 100 micras (opcional) a microscopios Nikon Eclipse L200N y LV150N o a un sistema de medición por video NEXIV VMZ-S. Integración con NEXIV – Video metrología El cargador de obleas NWL200 integrado junto con un sistema de medición de video Nikon NEXIV proporciona alta precisión, exactitud y velocidad para la inspección de semiconductores en un entorno de producción. Alta confiabilidad en la producción de semiconductores Cuando la fuente de alimentación se interrumpe inesperadamente, el mandril de vacío del brazo macro permanece activo, permitiendo la extracción segura de la oblea. Funciones de inspección de macros Se admite el patrón del lado frontal de la oblea semiconductora, la periferia posterior y la inspección del área central. La velocidad de rotación de la oblea y el ángulo de inclinación se configuran de forma automática o manual.