Alineador de máscara para obleas 200IR

El alineador de máscaras OAI modelo 200IR es un sistema de sobremesa que requiere un espacio mínimo en la sala blanca. Es una alternativa rentable para la I+D o la producción piloto a escala limitada. Utilizando un innovador sistema de nivelación con cojinetes de aire y mandriles de vacío, el sustrato se nivela rápida y suavemente, para una alineación paralela de la máscara fotográfica y un contacto uniforme en toda la oblea durante la exposición por contacto. El alineador de máscaras modelo 200IR tiene una resolución y una precisión de alineación de una micra. Dispone de un módulo de alineación que cuenta con conjuntos de inserción de máscaras y mandriles para obleas de cambio rápido que permiten el uso de una variedad de sustratos y máscaras sin necesidad de herramientas para su reconfiguración. El módulo de alineación incorpora micrómetros para los ejes X, Y y z. Este alineador de máscaras cuenta con una fuente de luz OAI fiable que proporciona luz UV colimada en UV cercano o profundo utilizando lámparas con una potencia de entre 200 y 2000 vatios. Los bucles de retroalimentación óptica de doble sensor están vinculados al controlador de intensidad constante para proporcionar un control de la intensidad de exposición dentro de ±2% de la intensidad deseada. Se pueden realizar cambios en la longitud de onda UV de forma rápida y sencilla. El alineador de máscaras modelo 200IR es una solución flexible y económica para cualquier aplicación básica de alineación de máscaras y exposición UV para MEMS, microfluidos y NIL.