Alineador de máscara automático 6000

Modelo 6000 Alineador de máscaras totalmente automatizado, por delante o por detrás, para la producción Para: Semiconductores, MEMS, Sensores, Microfluidos, IOT, Embalaje Con más de 4 décadas de fabricación en la industria de los semiconductores, OAI responde al creciente desafío de un mercado dinámico con una nueva clase de élite de equipos de fotolitografía para producción. Construida sobre la venerable plataforma modular de OAI, la Serie 6000 tiene una alineación frontal o trasera totalmente automatizada con una resolución sub-micrométrica que ofrece un rendimiento inigualable a cualquier precio. Los alineadores cuentan con una óptica de haz avanzada con una uniformidad superior al ±3% y un rendimiento de 180 obleas por hora en el modo de primera máscara, lo que se traduce en mayores rendimientos. La Serie 6000 puede manejar una amplia variedad de obleas, desde sustratos gruesos y adheridos (hasta 7000 micras), obleas alabeadas (hasta 7 mm-10 mm), sustratos finos (hasta 100 micras de grosor) y fotoresistencias gruesas. Con una excelente repetibilidad del proceso, la Serie 6000 es la solución perfecta para todos los entornos de producción. Elija entre la alineación frontal o la alineación trasera opcional, que utiliza el software de reconocimiento de patrones personalizado de OAI, basado en Cognex. Para el proceso total de litografía, la Seriesl 6000 puede integrarse perfectamente con las herramientas de cluster. Los nuevos alineadores de máscaras de producción de OAI son el paquete completo. RENDIMIENTOS ALTAMENTE OPTIMIZADOS 200 WPH en el modo de primera máscara Óptica de haz avanzada con una uniformidad mejor de ±3% AMPLIA VARIEDAD DE MANEJO DE SUSTRATOS Incluyendo sustratos gruesos y adheridos y sustratos alabeados NIVELACIÓN POR EFECTO CUÑA EXCELENTE REPETIBILIDAD DEL PROCESO RESOLUCIÓN SUBMICROMÉTRICA DIAGNÓSTICO REMOTO