Aparato de medición de planitud FLATSCAN

de superficieóptico

Medición automática 2D o 3D sin contacto de la urdimbre, arco, pendiente y curvatura de la superficie con módulo de software para el cálculo de la tensión de capa fina (tensión de oblea) de obleas y sustratos de vidrio. Aplicación FLATSCAN sirve para la medición sin contacto de la planitud, ondulación, radio medio y tensión de película fina de todo tipo de superficies reflectantes como obleas de silicio, espejos, espejos de rayos X (espejos de goebel), superficies metálicas o polímeros pulidos. El principio de medición óptica garantiza una alta precisión. Se basa en la medición del ángulo de reflexión de un rayo láser incidente perpendicular a lo largo de una línea con un ancho de paso constante. La forma de la superficie se puede calcular exactamente a partir del cambio del ángulo de reflexión entre los puntos de medición. Para algunas aplicaciones el ángulo de reflexión en sí mismo es interesante. Por lo tanto, el software ofrece adicionalmente esta opción de medición. Para aplicaciones en la tecnología de semiconductores, la tensión de la película delgada en recubrimientos puede calcularse por los radios medidos antes y después del recubrimiento. Gran campo de medición Una característica especial del principio de medición utilizado es su independencia del campo de medición. Por lo tanto, el diámetro estándar del campo de medición de 200 mm puede aumentarse de forma casi arbitraria sin que disminuya la precisión. Alta precisión de medición FLATSCAN se caracteriza por una alta precisión de medición. La resolución de los sistemas de medición es de 0,1 arcosegundos. La reproducibilidad de la forma de la superficie es de 100 nm.