Máquina de control de macrodefectos F30™

de superficiepara obleasindustrial

Diseñado para difuminar las líneas entre la microinspección de campo oscuro y la macroinspección tradicional, el sistema F30 proporciona una inspección de defectos automatizada para aplicaciones de calidad de entrada y salida (OQA). Descripción del producto El sistema F30 cuenta con una torreta de cinco objetivos que permite la flexibilidad de resolución y rendimiento que requieren las aplicaciones de inspección multiproceso actuales. Equipado con una suite de productividad avanzada (creación de recetas sin obleas, FOUP simultáneo, servidor de recetas y adaptación de herramientas), el sistema F30 redefine las expectativas de coste de propiedad de la inspección. Aplicaciones - Inspección después del desarrollo (ADI) - Control de calidad de salida de la fábrica - Inspección posterior al CMP - Inspección después del grabado Especificaciones - Rendimiento de hasta 120 wph (10µm) - Flexibilidad de resolución (10µm a 0,5µm) - Tres métodos simultáneos de revisión de defectos en color: sobre la marcha, alta resolución, oblea completa - Se une a los módulos de borde y parte trasera para una solución de toda la superficie