Máquina de control para obleas NovusEdge®

industrialpara la industria del embalajede defectos

El sistema NovusEdge incluye configuraciones modulares para una inspección rápida y fiable del borde, la muesca y la parte posterior de la oblea. Descripción del producto El sistema NovusEdge proporciona una inspección de alta sensibilidad del borde y la cara posterior de las obleas desnudas sin patrón para los nodos actuales y avanzados. Se pueden configurar varios módulos en la misma plataforma de automatización para aumentar el rendimiento y mantener un tamaño reducido para mejorar el coste de propiedad. La solución de manipulación de los bordes, tanto para la plataforma de automatización como para los módulos de inspección, proporciona la limpieza necesaria para la fabricación de obleas. Se puede añadir a la configuración una inspección de muescas de alta sensibilidad opcional. Los defectos detectados se clasifican y agrupan automáticamente en tiempo de ejecución para reducir la revisión manual del operador. El sistema está diseñado como un sistema de inspección y clasificación polivalente para la inspección de calidad de salida del final de la línea de obleas de 300 mm sin patrón. El sistema permite identificar, inspeccionar y clasificar las obleas según recetas libremente definibles. Aplicaciones - Inspección en proceso de obleas no estampadas en la planta de fabricación de obleas. - Inspección de entrada de obleas no estampadas en proveedores de subconjuntos y pruebas, fabricantes de dispositivos integrados y fundiciones. - Calificación y supervisión de herramientas de proceso junto con obleas de prueba. Especificaciones - Sensibilidad de borde submicrónico - Sensibilidad de la cara posterior hasta niveles nanométricos - Inspección de muescas de cobertura total - Niebla - Capacidad de clasificación - Configuración flexible de las herramientas - Clasificación automática de defectos con clases de defectos definibles por el cliente