Sistema de metrología para obleas Atlas® III+

La serie Atlas de cuchillas minúsculas y OCD es la herramienta de metrología para la fabricación de dispositivos FinFET, FET de puerta completa (GAA), NAND 3D y DRAM avanzados. Al ampliar el rendimiento de la metrología a niveles de precisión y exactitud por debajo de los milímetros, el sistema Atlas III+ permite el control avanzado de procesos en una amplia gama de aplicaciones en la fabricación de grandes volúmenes. La familia de productos Atlas incorpora una solución patentada de reflectometría espectroscópica y elipsometría espectroscópica, y cuando se combina con el software de análisis Spectraprobe™ y AI-Diffract™ OCD de Onto Innovation, líder en el sector, permite el control de procesos de todas las operaciones críticas de las unidades de fabricación. El sistema Atlas III+ y la solución AI-Diffract proporcionan una visión de los perfiles de estructuras complejas en los pasos de grabado, limpieza, deposición y CMP.