Sistema de inspección por fotoluminiscencia Vertex™

automáticopara reactor epitaxialpara obleas

El sistema Vertex controla el proceso de medición de PL para que su proceso epitaxial permanezca firmemente bajo control. Resumen de productos La última adición a la familia de RPM estándar de la industria, el sistema Vertex toma un gran concepto y lo lleva a su última conclusión. Utilizando un novedoso perfilador de haz a bordo, el sistema Vertex controla la densidad de potencia mediante la monitorización constante tanto de la potencia del láser como de las dimensiones del punto focal. Esto permite al usuario ajustar la densidad de potencia a un valor fijo, eliminando todas las fuentes de variación entre las herramientas, lo que permite una buena adaptación de las herramientas en un entorno de producción. Además, el control de la densidad de potencia ayuda al sistema Vertex a proporcionar mediciones de datos altamente precisas y repetibles.