Sistema de inspección por fotoluminiscencia Imperia®

óptico3Dautomatizado

Gracias a su exclusiva tecnología de diseño óptico, el sistema Imperia detecta y clasifica los defectos que merman el rendimiento, con la ventaja adicional de la supervisión simultánea de la producción por fotoluminiscencia (PL) de última generación Descripción del producto Gracias a su exclusiva tecnología de diseño óptico, el sistema Imperia detecta y clasifica los defectos que merman el rendimiento con la ventaja adicional de la supervisión simultánea de la producción por fotoluminiscencia (PL) de última generación. La combinación de estas dos funciones de cribado metrológico post-epitaxial en un único sistema de alto rendimiento minimiza el valioso uso del espacio de la fábrica y el tiempo de manipulación de los casetes. Este producto puede suponer un importante ahorro económico para el usuario (por ejemplo: predecir con precisión el rendimiento del reactor MOCVD y los programas de PM) - Mapeo de PL espectral de alta densidad - Análisis y clasificación de defectos - Espesor de la capa epitaxial e imágenes de reflectividad normalizada de alta resolución - Perfil de la forma de la oblea y reconstrucción del arco en 3D