Máquina de medición de espesor estacionaria ECV Pro™

de filmsin contactocon calibración automática

El sistema ECV Pro fue diseñado, desde el principio, para eliminar todas las variaciones en los datos que dependen del operador. Resumen de productos El sistema ECV Pro es el estándar de la industria para la medición de perfiles de concentración de portadores activos en capas de semiconductores. El nuevo diseño de la electrónica digital del sistema elimina la deriva y mejora significativamente la relación señal-ruido. El diseño único del sistema ECV Pro elimina todas las variaciones en los datos que dependen del operador. Presentamos la primera cámara in situ, ECVision, que permite al usuario visualizar las interfaces de semiconductores/electrolitos. También ofrece una novedosa visión de la eliminación de la película o la revelación de defectos durante el proceso de grabado. El software del sistema ECV Pro se basa en las directrices del estándar industrial SEMI E-95. Este software soporta la creación de perfiles automatizados y está programado para generar gráficos de control de procesos.