Máquina de medición de espesor estacionaria Element™

de filmcon pantalla digitalcon calibración automática

La única herramienta del mercado con una combinación única de tecnología basada en la transmisión y la reflexión. Este sistema es el estándar de la industria para la monitorización dieléctrica. Descripción del producto El sistema Element es la herramienta de referencia para los proveedores de obleas en lo que respecta al mapeo de impurezas de alta velocidad y la medición de espesores epi. Es la única herramienta del mercado con una combinación única de tecnología basada en la transmisión y la reflexión. Este sistema es el estándar de la industria para la monitorización dieléctrica. Colaboramos con los proveedores de obleas para mejorar aún más las características críticas de las obleas, como el grosor de la capa de epi, la resistividad de la epilámina y la resistividad global, utilizando la técnica basada en la reflexión de Onto Innovation. La transmisión del sistema Element es un método clásico y directo que proporciona la mejor sensibilidad para monitorizar dieléctricos como BPSG, FSG, H en SiN, etc. El aprendizaje automático se utiliza para eliminar el uso de obleas de monitorización para la medición dieléctrica. Los sistemas basados únicamente en la reflexión no son sensibles a la mayoría de estos dieléctricos. Aplicaciones - Espesor de la capa de epi - Espesor de la zona de transición - Resistividad del epi y del sustrato - Dispositivo de potencia - Resistividad de la masa - Exclusión de bordes - Oxígeno intersticial y carbono sustitutivo - BPSG - Contenido de boro y fósforo de las capas BPSG - FSG - Contenido de flúor en FSG - SiN - Mide el hidrógeno en las películas de nitruro de silicio - HSQ - Contenido de hidroxilo e hidrógeno en óxidos SOG, FOX - SiON - Oxígeno, nitrógeno e hidrógeno en SiON - SiCN - Carbono en SiCN - SiOC - Carbono en SiOC - Oxygendose - Medición de la dosis de implante de oxígeno en el proceso SIMOX - Oxygen Precipitate - Medición de los precipitados de oxígeno en los sustratos de Si