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Sistema de metrología para semiconductores QS1200™para obleas
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Características
- Tipo
- para obleas, para semiconductores
Descripción
La herramienta de metrología FTIR QS1200 es un sistema de sobremesa para la monitorización de dopantes, la medición de espesor de epi y otras aplicaciones
Resumen de productos
El sistema QS1200 está diseñado específicamente para laboratorios de semiconductores avanzados que realizan la caracterización de materiales en áreas de cultivo de silicio y fabricación de dispositivos. Proporciona un nuevo nivel de integración de la técnica FTIR utilizando una tecnología óptica probada, y una bandeja manual de obleas para acomodar obleas estándar SEMI de 100, 125, 150, 200 y 300 mm de diámetro. En el sistema QS1200 también se pueden utilizar piezas de oblea de forma extraña y rebanadas de silicona de 2 mm de grosor.
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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.