Máquina de control de superficie EB40™

para obleasindustrialde defectos

Combinación de la inspección de los bordes y la parte trasera en un solo módulo Descripción del producto Los módulos E40 y B40 con certificación de clase 1 (disponibles por separado o combinados en un solo módulo) pueden detectar automáticamente defectos en todo el borde, desde la zona 1 a la 5, y en toda la cara posterior. La capacidad de inspeccionar toda la cara posterior permite un análisis más rápido de la causa raíz de los defectos de la zona 5, ya que dichos defectos pueden migrar desde el interior de la oblea. El módulo EB40 captura imágenes de defectos sobre la marcha, crea imágenes compuestas de toda la oblea y está totalmente integrado para la revisión de biseles en el SEM. Todos los resultados de la inspección y la metrología, incluidas las imágenes de defectos, de toda la oblea y del SEM, pueden analizarse conjuntamente en una única base de datos mediante nuestro paquete de análisis de software Discover Defect. La correlación de la metrología EBR con los datos de defectos de toda la superficie, los datos del SEM y los resultados de la microinspección es sólo el principio de lo que puede hacer el software Discover. Además de la clasificación avanzada de defectos en la herramienta, se puede asignar a los defectos la clasificación ADC de los bordes en tiempo real antes de la revisión manual fuera de línea mediante el software Discover Review. Aplicaciones Inspección de bordes - Supervisión del proceso de litografía - Grietas/Chips - Residuos - Concentricidad de EBR - Inspección del adhesivo de unión Inspección de la cara posterior - Arañazos - Firmas de mandril/efector final - Detección de patrones a nivel de oblea - Correlación de los defectos de la cara posterior con los de la cara anterior Especificaciones - Detecta los defectos de los blísteres - Detecta lechada, contaminantes de limpieza y películas residuales - Metrología automatizada de eliminación de bordes (EBR) - Detecta astillas y grietas - Aborda los problemas de contaminación - Detecta defectos de delaminación