Máquina de control para obleas AWX FSI

de partículasindustrialde defectos

El sistema AWX FSI es esencial para que los fabricantes de obleas puedan supervisar rápidamente las partículas de las herramientas de proceso críticas. Descripción del producto Las obleas sin patrón requieren el control de calidad que proporciona el sistema AWX FSI, con inspección láser de campo oscuro para detectar partículas, arañazos, defectos de área y microrrugas (bruma) en obleas desnudas. El sistema AWX FSI es capaz de medir diferentes sustratos, materiales y tamaños de obleas, incluidos el silicio desnudo y las obleas dopadas o recubiertas. La manipulación automatizada de diferentes tipos de casetes abiertos y un prealineador permiten una amplia flexibilidad para utilizar esta herramienta en diversos entornos, desde I+D hasta producción y garantía de calidad. La herramienta de inspección AWX puede manejar obleas de 150 mm, 200 mm y 300 mm, lo que permite la clasificación automática de obleas en función de los resultados de la inspección. Especificaciones - Inspección automática de obleas de 150/200/300 mm - Sensibilidad a niveles nanométricos - Neblina - Capacidad de clasificación - Configuración flexible de las herramientas - Clasificación automática de defectos