Sistema de metrología para obleas OCD

La tecnología OCD Solutions optimiza toda la capacidad y conectividad de los sistemas Atlas e IMPULSE para la metrología de dimensiones críticas ópticas (OCD) Descripción del producto La tecnología OCD de Onto Innovation ofrece un potente modelado OCD y una avanzada capacidad de aprendizaje automático, así como una regresión de última generación en tiempo real, herramientas de análisis de sensibilidad fuera de línea y una completa interfaz gráfica de usuario y entrada de estructuras para un verdadero modelado multivariante. Los paquetes de software Ai Diffract y SpectraProbe ofrecen capacidades avanzadas en factores de forma de hardware intuitivos y fáciles de implementar. Cada componente amplía las capacidades de OCD a los sistemas de metrología independientes de Atlas y a los integrados en IMPULSE, desde el soporte y el desarrollo de recetas fuera de línea hasta la creación de redes y la conectividad en toda la fábrica para facilitar la gestión de la flota. Software Ai Diffract™ Software de modelado y análisis de OCD guiado por IA para metrología óptica en línea de alta precisión y desarrollo de recetas fuera de línea El software Ai Diffract es un potente software de modelado, visualización y análisis con una interfaz de modelado 3D intuitiva para simplificar la construcción y visualización de los dispositivos semiconductores más complejos de hoy en día. Los algoritmos de ajuste patentados del software Ai Diffract permiten realizar cálculos rápidos y precisos para el procesamiento de señales para mediciones de alta fidelidad basadas en modelos. Las funciones de automatización para el ajuste espectral, la optimización de recetas y el análisis de sensibilidad ofrecen una gran productividad al usuario. El primer motor del mercado guiado por IA sinergiza el modelado basado en la física y el aprendizaje automático para ofrecer la solución más sólida con un tiempo de respuesta rápido.