Sistema de metrología para obleas Echo™

para semiconductores

La tecnología ultrasónica de picosegundos, o tecnología PULSE™, es el estándar de la industria para la metrología de películas metálicas. El sistema Echo™ es la última incorporación a la familia de productos de metrología acústica de Onto Innovation y está diseñado para ampliar el liderazgo en múltiples segmentos de dispositivos de vanguardia Descripción del producto El sistema Echo es una completa herramienta de metrología de películas metálicas en línea para mediciones de películas metálicas de una y varias capas en dispositivos lógicos, de memoria, de embalaje avanzado y semiconductores especiales de vanguardia. El innovador diseño de la óptica amplía el rango dinámico para la medición del grosor de la película de 50Å a 35µm en una sola plataforma y ofrece la posibilidad de ampliarlo para medir estructuras NAND 3D avanzadas de alta relación de aspecto. El software del Sistema de Aplicaciones Expertas (EASy™) proporciona flexibilidad para el desarrollo de algoritmos definidos por el usuario para el modelado de complejas pilas multicapa. El sistema Echo también amplía la capacidad de caracterización de materiales de los sistemas de tecnología PULSE. Además del módulo de Young de las películas dieléctricas de baja k en BEOL y de las máscaras duras de carbono amorfo en NAND 3D, el sistema Echo incluye electrónica y algoritmos actualizados para el monitor de implantes y la caracterización de la conductividad térmica. El pequeño tamaño del punto, combinado con la rapidez de las mediciones, permite una capacidad de mapeo completo de la oblea hasta la exclusión del borde de 0,5 mm, lo que mejora los giros de la información y la calidad de la misma durante el desarrollo y la optimización del proceso. Especificaciones - Mediciones optoacústicas en línea con láser ultrarrápido de femtosegundo - El pequeño tamaño del punto (8x10µm) permite realizar mediciones en un sitio de 15µm - Espesor típico de las películas metálicas de 50Å a 35µm - Alto rendimiento de hasta 60wph