Park NX-Hivac es un microscopio de fuerza atómica de alto vacío para el análisis de fallos y la investigación de materiales sensibles a la atmósfera.
Dado que el barrido en alto vacío ofrece una mayor precisión y una mejor repetibilidad que las condiciones ambientales o de N2 seco, los usuarios pueden, por ejemplo, medir una amplia gama de concentración de dopantes y la respuesta de la señal en aplicaciones de análisis de fallos.
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