El contador de partículas por condensación (CPC) NanoAir™ 10 es un nuevo y revolucionario producto de Particle Measuring Systems (PMS). Proporciona la sensibilidad de un CPC con la facilidad de uso y la funcionalidad de un contador de partículas de sala limpia tradicional. Diseñado para monitorizar entornos ultralimpios, ofrece una sensibilidad de detección de 10 nm a un caudal de muestra de 2,8 L/min (0,1 CFM).
El tamaño del NanoAir 10 es un 83% menor que el de los contadores de partículas por condensación de la competencia, lo que lo hace práctico para su uso en cualquier lugar de entornos ultralimpios, incluido el interior de herramientas de proceso de semiconductores y módulos frontales de equipos (EFEM). El innovador diseño del sistema de manejo del fluido de trabajo, pendiente de patente, es robusto y eficiente, lo que permite un funcionamiento continuo las 24 horas del día, los 365 días del año, sin necesidad de mantenimiento ni intervención del usuario de ningún tipo entre el rellenado y la calibración anuales del fluido de trabajo. De este modo, se reducen las interrupciones en el muestreo y la recopilación de datos, así como el tiempo de inactividad de la herramienta.
Un producto complementario de colector de 10 puertos (ParticleSeeker™) admite aplicaciones que requieren la monitorización de varias ubicaciones de muestra en secuencias secuenciales o programadas.
Además, el contador de partículas por condensación NanoAir es compatible con gas a alta presión con el HPD-III de PMS, y los datos pueden visualizarse, analizarse y notificarse mediante el software de monitorización de instalaciones PMS Facility Net o transmitirse directamente a sistemas SCADA de terceros o a entradas de herramientas de proceso.
Particle Measuring Systems diseña, fabrica, instala, calibra, repara y mantiene el contador de partículas de condensación NanoAir™ 10, y los servicios de instalación, reparación y mantenimiento del muestreador de aerosoles multipuerto ParticleSeekerTM.
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