El AMPC es la solución ideal para la sala limpia y el equipo de monitoreo de módulos frontales (EFEM).
La contaminación molecular aerotransportada (AMC) en los laboratorios de CI se conoce como el principal factor de pérdida de rendimiento. Para controlar y comprender de dónde viene la contaminación, Pfeiffer Vacuum ahora trae una solución única al mercado de los semiconductores para monitorear las salas limpias, así como el EFEM (Módulo de Frontera del Equipo).
Beneficio para el cliente
-Medición de compuestos en tiempo real (ácidos, bases, compuestos orgánicos)
-Software innovador para gestionar la prioridad de las líneas de muestreo, el control de calidad (QC) y las alarmas
-96 líneas de muestreo reunidas en una herramienta (hasta ocho analizadores)
-Alto rendimiento (análisis y limpieza en tres minutos)
-No hay contaminación cruzada de una línea de muestreo a otra
El AMPC reúne los analizadores más avanzados para detectar y cuantificar ácidos, bases y compuestos orgánicos en hasta 96 lugares de una fábrica gracias a un diseño innovador e integrado de válvulas.
La gama de AMPC incluye dos herramientas: AMPC S y AMPC L donde las dimensiones externas, el número de líneas y las opciones son diferentes
Además, el marco de extensión del AMPC proporciona 39 U de espacio para analizadores adicionales. Se puede utilizar para actualizar las unidades del AMPC existentes o añadir nuevas unidades del AMPC S y del AMPC L.
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