Sistema de supervisión para sala blanca APA 302

del medio ambiente

La APA 302 es una herramienta única de monitoreo en línea para la fabricación avanzada de chips en un ambiente de sala limpia. Este innovador equipo mide la contaminación molecular aerotransportada (abreviado AMC) en un FOUP y en el ambiente circundante. La medición se realiza en tiempo real con una alta sensibilidad en el rango de ppbv. Vigilancia eficaz de la contaminación La humedad y la Contaminación Molecular Atmosférica (AMC) como el fluoruro de hidrógeno (HF) se liberan en el espacio de las ranuras de los FOUPs durante los tiempos de espera. Estos elementos pueden generar crecimiento de cristales en obleas con patrones, lo que lleva a la pérdida de rendimiento y a la degradación del rendimiento. El APA 302 de Pfeiffer Vacuum está muestreando el AMC a través de los filtros FOUP. La medición se realiza en 2 mn con una alta sensibilidad en el rango ppb a través de la espectroscopia de movilidad de iones, detección de ionización de llama, UV de fluorescencia o espectroscopia de anillo de cavidad. Cuando no hay FOUP en los puertos de carga, la APA 302 monitoriza el entorno de la sala limpia circundante. Análisis fiable del entorno FOUP Para garantizar el rendimiento, el SEMI S2/S8 compatible con APA 302 está equipado con una función de autocalibración, que se activa a intervalos regulares. La monitorización del AMC dentro de la APA puede ser ejecutada en PODs con o sin obleas. Los FOUPs pueden ser entregados manualmente o a través de un transporte con elevador aéreo (OHT) en los 2 puertos de carga. De esta manera, se pueden optimizar los tiempos de espera entre los distintos pasos del proceso, reconocer inmediatamente los valores de contaminación y aumentar los rendimientos.