Sistema de supervisión para sala blanca APR 4300

del medio ambiente

El APR 4300 descontamina las obleas de 300 mm y sus cajas de transporte (FOUP) a nivel molecular y las protege durante el tiempo de espera. Descontaminación fiable y protección contra la contaminación El APR es un sistema para la descontaminación de las obleas y la protección durante el tiempo de espera. La Contaminación Molecular Aérea (abreviado AMC) disminuye el rendimiento y la calidad en la producción de semiconductores. El APR impide eficazmente la adsorción de moléculas orgánicas o inorgánicas contaminadas en la superficie de una oblea y en la caja de transporte. Mediante la evacuación de las cámaras en el APR, la probabilidad de adsorción se reduce masivamente. De esta manera se puede aumentar considerablemente el rendimiento de una oblea y se pueden optimizar los tiempos de espera entre los distintos pasos del proceso. ¿Cómo funciona el APR? El FOUP puede ser entregado manualmente o a través de un transporte con elevador aéreo (OHT) en los dos puertos de carga. El APR es un sistema con cuatro cámaras de vacío apiladas para la descontaminación de obleas y FOUP, que se sirve de un robot fiable. Todas las cámaras están equipadas con una estación de bombeo de vacío, una caja de gas, un panel operativo y un control con fuente de alimentación. Las cámaras pueden ser operadas individualmente. Después de cargar la cámara con un FOUP que contiene obleas, la presión en la cámara se reduce a < 0,1 mbar. Entonces se aplica el proceso de descontaminación. Después de esto, la cámara se purga con nitrógeno limpio y se vuelve a la presión atmosférica. Las obleas y la caja de transporte están ahora protegidas de la contaminación durante más de un día.