Sistema de imagen molecular

Sistemas de cámaras al vacío UV / EUV y de vacío Las cámaras EUV y VUV proporcionan una alta resolución, un alto rango dinámico y una buena resolución temporal. Las cámaras EUV y VUV proporcionan una alta resolución (normalmente inferior a 10 micras), un alto rango dinámico (de 12 a 16 bits), así como una buena resolución temporal (hasta un rango de microsegundos) que son necesarias para las modernas fuentes de descarga de plasma pulsado EUV. La cámara puede adquirir imágenes de un solo disparo o de múltiples disparos sincronizados a una resolución de hasta 13fps de una fuente nativa de EUV sin sufrir de artefactos sangrantes. Las versiones con brida y/o al vacío están disponibles dependiendo de la flexibilidad requerida para la caracterización e inspección de la máscara en blanco/resistencia/fuente/fuente/óptica. La respuesta de sensibilidad se puede ampliar desde 13,5 nm hasta 0,0135 nm en caso de que la cámara se utilice para detectar múltiples líneas características. El enfriamiento profundo permite una corriente oscura muy baja de hasta menos de 0,005 electrón/píxel/segundo para una exposición prolongada en caso de que la señal muy débil requiera largos períodos de integración.