Alta dinámica con gran apertura
- Cinemática paralela para tiempos de respuesta más rápidos y mayor precisión multieje
- Sistema de guía de flexión de alta precisión sin juego
- Vida útil excepcional gracias a los actuadores piezoeléctricos PICMA
- Apertura libre de 66 mm × 66 mm
- Máxima linealidad gracias a los sensores capacitivos
- Metrología
- Interferometría
- Fotónica / óptica integrada
- Litografía
- Nanoposicionamiento
- Microscopía de barrido
- Alineación de muestras
- Micromecanizado
Resolución subnanométrica con sensores capacitivos
Los sensores capacitivos miden con resolución subnanométrica sin contacto. Garantizan una excelente linealidad de movimiento, estabilidad a largo plazo y un ancho de banda en el rango de los kHz.
Configuración automática e intercambio rápido de componentes
Las mecánicas y los controladores pueden combinarse según las necesidades e intercambiarse rápidamente. Todos los parámetros de servo y linealización se almacenan en el chip de identificación del conector D-sub de la mecánica. La función de autocalibración de los controladores digitales utiliza estos datos cada vez que se enciende el controlador.
Vida útil excepcional gracias a los actuadores piezoeléctricos PICMA
Los actuadores piezoeléctricos PICMA® patentados están totalmente aislados con cerámica. Esto los protege contra la humedad y los fallos derivados de un aumento de la corriente de fuga. Los actuadores PICMA® ofrecen una vida útil hasta diez veces superior a la de los actuadores convencionales aislados con polímeros. se han demostrado 100.000 millones de ciclos sin un solo fallo.
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