Platina de posicionamiento Z P-58 series
de inclinaciónpiezoeléctrica1 eje

Platina de posicionamiento Z - P-58 series - Physik Instrumente - de inclinación / piezoeléctrica / 1 eje
Platina de posicionamiento Z - P-58 series - Physik Instrumente - de inclinación / piezoeléctrica / 1 eje
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Características

Orientación
Z, de inclinación
Número de ejes
1 eje, 3 ejes
Otras características
de alta precisión, para microscopio, guiada sin fricción, en lazo cerrado, con controlador, en lazo cerrado, automática
Carrera

Máx.: 240 µm

Mín.: 50 µm

Repetibilidad

5 nm, 10 nm

Descripción

Alta dinámica con gran apertura - Cinemática paralela para tiempos de respuesta más rápidos y mayor precisión multieje - Sistema de guía de flexión de alta precisión sin juego - Vida útil excepcional gracias a los actuadores piezoeléctricos PICMA - Apertura libre de 66 mm × 66 mm - Máxima linealidad gracias a los sensores capacitivos - Metrología - Interferometría - Fotónica / óptica integrada - Litografía - Nanoposicionamiento - Microscopía de barrido - Alineación de muestras - Micromecanizado Resolución subnanométrica con sensores capacitivos Los sensores capacitivos miden con resolución subnanométrica sin contacto. Garantizan una excelente linealidad de movimiento, estabilidad a largo plazo y un ancho de banda en el rango de los kHz. Configuración automática e intercambio rápido de componentes Las mecánicas y los controladores pueden combinarse según las necesidades e intercambiarse rápidamente. Todos los parámetros de servo y linealización se almacenan en el chip de identificación del conector D-sub de la mecánica. La función de autocalibración de los controladores digitales utiliza estos datos cada vez que se enciende el controlador. Vida útil excepcional gracias a los actuadores piezoeléctricos PICMA Los actuadores piezoeléctricos PICMA® patentados están totalmente aislados con cerámica. Esto los protege contra la humedad y los fallos derivados de un aumento de la corriente de fuga. Los actuadores PICMA® ofrecen una vida útil hasta diez veces superior a la de los actuadores convencionales aislados con polímeros. se han demostrado 100.000 millones de ciclos sin un solo fallo.

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