- Recorrido de 100 µm, 400 µm u 800 µm
- Respuesta significativamente más rápida y mayor vida útil que los accionamientos motorizados
- Posicionamiento fino de objetivos con resolución subnm
- Medición directa de la posición con sensores capacitivos Máxima linealidad
- Compatible con el software de procesamiento de imágenes Metamorph
- Gran abertura transparente con Ø 29 mm
- Imágenes en 3D
- Cribado
- Interferometría
- Tecnología de medición
- Sistemas de autoenfoque
- Biotecnología
- Inspección de semiconductores
Vida útil excepcional gracias a los actuadores piezoeléctricos PICMA
Los actuadores piezoeléctricos PICMA® están aislados totalmente con cerámica. Esto los protege contra la humedad y los fallos derivados de un aumento de la corriente de fuga. Los actuadores PICMA® ofrecen una vida útil hasta diez veces superior a la de los actuadores convencionales aislados con polímeros. se han demostrado 100.000 millones de ciclos sin un solo fallo.
Resolución subnanométrica con sensores capacitivos
Los sensores capacitivos miden con resolución subnanométrica sin contacto. Garantizan una excelente linealidad de movimiento, estabilidad a largo plazo y un ancho de banda en el rango de los kHz.
Alta precisión de guiado gracias a las guías de flexión sin juego
Las guías de flexión no requieren mantenimiento, fricción ni desgaste, ni tampoco lubricación. Su rigidez permite una gran capacidad de carga y son insensibles a golpes y vibraciones. Funcionan en un amplio rango de temperaturas.
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