Ideal para sustratos de tamaño medio o placas de circuito impreso.
Dimensiones: -
L: 1050mm W: 800mm H: 2020mm
Peso: -
95 KG
Volumen: -
76/100 litros
Cámara de proceso: -
aluminio, L: 400mm W: 480mm H: 520mm
Salida de microondas: -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
Incluye
1 canal de gas (sistema de distribución de gas dentro de la cámara de proceso), hasta 3 canales disponibles
Soporte de sustrato (opcional): -
aluminio, posibilidad de diseño a medida
Conexión de vacío: -
DN 63 ISO-KF
Ventilación: -
electroválvula electromagnética
Sistema de bombeo: -
hasta 250m³/h (integrada)
Puerta de la cámara: -
puede elegir entre el tipo de bisagra con puerto de visualización, la puerta de cajón o la puerta universal
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