La Q significa cámaras de cristal de cuarzo.
Los equipos de plasma de la serie Q se utilizan sobre todo en la tecnología de semiconductores y en el área de análisis y tecnología médica.
Ejemplos de aplicación: Limpieza e incineración de muestras orgánicas y barnices en micromecánica, así como para obleas de silicio en la industria de semiconductores.
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