Fácil de manejar y sencillo de cargar. Nuestra serie Q proporciona un procesamiento de plasma rápido y fiable.
Dimensiones: -
L: 500mm W: 550mm H: 370mm
Peso: -
40 KG
Volumen: -
4 litros
Cámara de proceso: -
Quarzglas, 150mm Ø, B: 244mm
Salida de microondas: -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
Incluye
1 canal de gas (sistema de distribución de gas dentro de la cámara de proceso), hasta 3 canales disponibles
Soporte de sustrato (opcional): -
aluminio, posibilidad de diseño a medida
Conexión de vacío: -
DN 25 ISO-KF
Ventilación: -
electroválvula electromagnética
Sistema de bombeo: -
hasta 25m³/h
Puerta de la cámara: -
se puede elegir entre el tipo de bisagra con puerto de visualización y la puerta de cajón con barras de soporte adjuntas
Tamaño de las obleas: -
hasta 125 mm, con un número de 25 obleas
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