Sistema de recubrimiento/laminado Q 240

El sistema más grande de nuestra serie Q. Perfecto para múltiples obleas con tamaños de hasta 200 mm de diámetro. Dimensiones: - L: 760mm W: 775mm H: 775mm Peso: - 100 KG Volumen: - 20 litros Cámara de proceso: - vidrio de cuarzo, 240mm Ø, B: 450mm Salida de microondas: - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt Incluye 1 canal de gas (sistema de distribución de gas dentro de la cámara de proceso), hasta 3 canales disponibles Soporte de sustrato (opcional): - aluminio, posibilidad de diseño a medida Conexión de vacío: - DN 40 ISO-KF Ventilación: - electroválvula electromagnética Sistema de bombeo: - hasta 40m³/h Puerta de la cámara: - se puede elegir entre el tipo de bisagra con puerto de visualización y la puerta de cajón con barras de soporte adjuntas Tamaño de las obleas: - hasta 200 mm, con un número de 50 obleas