Este es el sistema Parylene. Es un sistema modular dividido en dos partes: módulo de cámara y módulo de evaporación.
Dimensiones: -
L: 2600mm W: 960 H: 1460mm
Peso: -
~ 450 KG
Volumen: -
800 / 1000 litros
Cámara de proceso: -
1150mm Ø H: 600mm (800 litros), 1000mm Ø H: 1100
Fuente de plasma
2,45GHz, 1200 Watt
Incluye
1 canal de gas (sistema de distribución de gas dentro de la cámara de proceso), hasta 3 canales posibles
Sistema de refrigeración
8 litros (trampa de refrigeración electromecánica)
Conexión de vacío: -
DIN 63 ISO-KF
Ventilación: -
electroválvula electromagnética
Sistema de bombeo: -
75m³/h
Conexión eléctrica: -
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, máx. 8.5 KW
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