Sistema de revestimiento al vacío 3000 RR

Desarrollado para aplicaciones que deben ejecutarse en salas limpias. Montaje modular y tamaños de cámara variables. Innumerables opciones como plataformas giratorias o diferentes soportes para los sustratos. La carga de la cámara de proceso se realiza desde la sala blanca. La descarga se realiza a través de la puerta de la esclusa de la sala gris. Dimensiones: - L: 2095mm W: 800 H: 1450mm Peso: - ~ 300 KG Volumen: - 140 / 200 / 300 litros Cámara de proceso: - 500mm Ø H: 700mm (140 litros), 600mm Ø / H: 700mm (200 litros), 700mm Ø, H: 800mm (300 litros) Fuente de plasma 2,45GHz, 1200 Watt Incluye 1 canal de gas (sistema de distribución de gas dentro de la cámara de proceso), hasta 3 canales posibles Sistema de refrigeración 8 litros (trampa de refrigeración electromecánica) Conexión de vacío: - DIN 40 ISO-KF Ventilación: - electroválvula electromagnética Sistema de bombeo: - 75m³/h Conexión eléctrica: - 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, máx. 8.5 KW