Sistema de revestimiento al vacío
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Características
- Especificaciones
- al vacío
Descripción
Un sistema multicámara robotizado para los procesos de revestimiento más complejos en un entorno de baja presión.
Dimensiones: -
L: 2000mm W: 1800mm H: 2000mm
Peso: -
~ 320 KG
Volumen: -
50 litros
3 cámaras de proceso: -
VA L:300 W:300 H:300
Fuente de plasma
2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt
Incluye
3x3 canales de gas (sistema de distribución de gas dentro de la cámara de proceso)
Adicionalmente: -
robot de esclusa de aire, ejemplo de soporte de sustrato para esclusa de aire
Soporte de sustrato (opcional): -
Aluminio, diseño personalizado posible
Conexión de vacío: -
DN 63 ISO-KF
Ventilación: -
electroválvula electromagnética
3 Sistemas de bombeo: -
40m³/h
Puerta de la cámara: -
Puertas de la cámara de mantenimiento
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