Microscopio óptico MSA-650 IRIS

de medidasautomatizadoen tiempo real

Caracterización óptica de la dinámica en MEMS recubiertos de Si La caracterización dinámica de dispositivos MEMS para medir y visualizar la respuesta mecánica es importante para el desarrollo de productos, la resolución de problemas y la validación de modelos FE. Los analizadores de microsistemas MSA de Polytec proporcionan mediciones ópticas rápidas y precisas del movimiento fuera del plano (OOP) y dentro del plano (IP). Hasta ahora, esto se limitaba a dispositivos desempaquetados que eran accesibles ópticamente. Ahora, el analizador de microsistemas IRIS MSA-650 de Polytec permite medir incluso a través de tapas de silicona intactas en microestructuras encapsuladas como, por ejemplo, sensores inerciales, micrófonos MEMS, sensores de presión y otros. Capacidad IR para medir la dinámica de MEMS a través de diferentes capas de dispositivos con tapa de Si Medición de la respuesta fuera del plano en tiempo real hasta 25 MHz (sin posprocesamiento) Resolución sub-picométrica del desplazamiento fuera del plano Validación directa del modelo FE de los MEMS en su estado final Separación superior de las capas individuales del dispositivo Microscopio de vídeo estroboscópico para medir el movimiento en el plano hasta 2,5 MHz Sistema automatizado que se integra bien para la producción (compatibilidad con estación de sondeo)