Medición de la respuesta dinámica y la topografía de MEMS y microestructuras
La topografía de superficies y el análisis y visualización del movimiento dinámico son fundamentales para probar y desarrollar microestructuras como los dispositivos MEMS (sistemas microelectromecánicos). Son indispensables para validar los cálculos de EF, determinar los efectos de diafonía y medir la deformación superficial. El analizador de microsistemas MSA-600 es la estación de trabajo de medición óptica todo en uno para caracterizar la topografía de superficies, así como los movimientos en el plano y fuera del plano.
Las versiones MSA-600-M/V cubren rangos de frecuencia de hasta 25 MHz, ideales para MEMS, micrófonos MEMS y otros microsistemas. Las versiones MSA-600-X/U cubren el rango de frecuencias altas y muy altas hasta 2,5 GHz, perfectas para la evaluación de resonadores MEMS de alta frecuencia, dispositivos microacústicos como SAW, BAW y otros.
ESTRENO:
La MSA-600-S es la estación de trabajo de medición óptica especializada diseñada para el análisis de vibraciones en tiempo real a 6 GHz y el análisis topográfico de superficies. Ideal para probar MEMS a GHz como FBAR (resonadores acústicos de película a granel), filtros BAW (ondas acústicas a granel) y dispositivos SAW (ondas acústicas de superficie).
---