Microscopio óptico MSA-100-3D

para MEMS3Dde pequeño tamaño

medición de vibraciones en 3D para MEMS y microsistemas Las vibraciones de los objetos reales suelen ser tridimensionales. Si bien es cierto que pueden mostrar direcciones preferentes, las tolerancias de producción y otras influencias hacen que los componentes se muevan también en otras direcciones espaciales. Puede utilizar el analizador de microsistemas MSA-100-3D para analizar el comportamiento dinámico de su muestra de forma integrada, en un amplio ancho de banda y en tiempo real. Los componentes de vibración en las tres direcciones espaciales se registran simultáneamente en alta resolución y se analizan como un registro de datos integrado. Se consigue la resolución de amplitud submicrométrica típica de los vibrómetros láser, independientemente de la dirección de la vibración. Medición de vibraciones en tiempo real con un gran ancho de banda de hasta 25 MHz Resolución de amplitud submicrométrica tanto para movimientos fuera del plano como dentro del plano Mediciones de punto único y de campo completo El pequeño punto láser de menos de 4 μm permite la máxima resolución lateral Grandes distancias de separación de 38 mm Compatible con las estaciones de sonda MEMS habituales