Filtro de gas GasPro ™ TEM-2260 seriesde cartuchode procesode acero inoxidable
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Características
- Producto filtrado
- de gas
- Tipo
- de cartucho
- Aplicaciones
- de proceso
- Material
- de acero inoxidable, de PTFE
- Otras características
- de alto caudal, en línea
- Tamaño de filtrado
0,003 µm
Descripción
Lanzamiento de nuevos productos: GasPro ™ TEM-2260 Filtro en línea de alto flujo de PTFE 316L
Los filtros de la serie GasPro ™ TEM-2260 están diseñados específicamente para la filtración de gases de semiconductores cuando se requieren tasas de flujo ultra altas. Este conjunto totalmente soldado entregará una retención de partículas de 0,003 micras donde se requiere un alto flujo y el espacio es limitado.
Una membrana de PTFE y un cartucho con soporte de polipropileno están encerrados en una carcasa soldada y electropulida de acero inoxidable 316L. El montaje final se purga con nitrógeno filtrado para la limpieza inicial.
Las aplicaciones incluyen:
- Gases inertes de instalaciones generales y de proceso.
- Aire seco y limpio (CDA*) para procesos críticos, como la limpieza de la vaina unificada de apertura frontal (FOUP) y la fotolitografía.
Consulte la hoja de datos para obtener más información.
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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.