Escáner de medición FSS 310

para la inspecciónópticode gran velocidad

El Flying Spot Scanner (FSS) 310 combina de forma única la OCT con el escaneado de amplio campo de visión, y resuelve el problema de que los sistemas de medición ultraprecisos suelen ser muy lentos y extremadamente caros. El FSS 310 tiene un punto de medición flexible y de movimiento rápido dentro del campo de visión que permite una inspección de la ROI en tiempos de ciclo ultracortos, sin comprometer la precisión. Este dispositivo mide la variación del espesor total (TTV), el arco, el alabeo y los huecos de toda una oblea de 12 pulgadas en una sola exploración. Ventajas - Inspección de ROI de alta velocidad y sin contacto Con una enorme área de escaneado de 310 mm, el FSS 310 comprueba la TTV, la curvatura, el alabeo y los huecos de una oblea de 12 pulgadas en aplicaciones estándar en menos de 10 segundos, lo que permite un rendimiento de más de 300 obleas por hora (incluido el tiempo de manipulación). Gracias al sistema de escaneado incorporado, los largos recorridos de los ejes lineales se sustituyen por movimientos giratorios cortos, lo que reduce significativamente los tiempos de medición y elimina la necesidad de un eje de precisión. - Facilidad de uso El FSS 310 y el sensor óptico CHRocodile 2 IT forman un paquete independiente que puede integrarse fácilmente en sistemas en línea y fuera de línea. Sólo se necesita una conexión al controlador CHRocodile 2 IT para llevar a cabo un procedimiento de escaneado personalizado con el FSS 310. Las múltiples interfaces y herramientas de software permiten configurar fácilmente la aplicación. A continuación, la lista de tareas de medición definidas se almacena en el sensor óptico, que también controla la sonda antes de que un software visualice los resultados.