El escáner esta conformado por un conjunto de componentes ópticos con sistema de moción. Dos espejos móviles desvían el hás del láser en la dirección X e Y. Con pequeña masa e inercia de los espejos en movimiento, velocidades de varios
metros por segundo permite lograr un tipo de proceso cuasisimultáneo con múltiples ciclos de recorrido por segundo. El lente de enfoque final (f-theta) determina la dimensión del área de trabajo, que puede ser de 100 x 100 mm, 240 x 240 mm, ó 350 x 350 mm.