Analizador de oxígeno EXTREL™ VeraSpec™ APIMS

COCH4de agua

Nuestro espectrómetro de masas por ionización a presión atmosférica (APIMS) EXTREL™ VeraSpec™ está diseñado para límites de detección fiables y repetibles de bajas partes por trillón para el control de la contaminación en gases de pureza ultra alta (UHP) utilizados en semiconductores y otras aplicaciones industriales de alta tecnología. La contaminación es costosa y, durante más de 20 años, el APIMS ha sido el estándar industrial y de investigación para la detección en línea de componentes de bajo nivel de mezclas de gases. Nuestro APIMS VeraSpec utiliza un filtro de masas cuadrupolar trifiltro de 19 mm en el análisis de gases de semiconductores para obtener el mejor rendimiento, fiabilidad y tiempo de funcionamiento. Límites de detección más bajos (LDL) mejores del sector para el análisis de gases a granel Supervisión multiespecífica en tiempo real de TODAS las impurezas críticas de los gases a granel, incluidas las trazas de O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, Xe, etc Potente y consolidada tecnología de espectrometría de masas Rango de medición sin precedentes de PPT a 100% con una configuración única de ionización de doble fuente Los fabricantes de semiconductores necesitan la capacidad de verificar continuamente la pureza de los gases de proceso en tiempo real y detectar trazas de contaminación en concentraciones en las bajas partes por trillón (ppt). Supervise una amplia gama de gases y mezclas de gases con la estabilidad que proporciona la repetibilidad a largo plazo necesaria en la mayoría de las aplicaciones. Pregunte por nuestro APIMS SX5 con funciones Stream Switcher.