Los fabricantes de semiconductores necesitan la capacidad de verificar continuamente la pureza de los gases de proceso en tiempo real y detectar trazas de contaminación en concentraciones en las bajas partes por trillón (ppt). Supervise una amplia gama de gases y mezclas de gases con la estabilidad que proporciona la repetibilidad a largo plazo necesaria en la mayoría de las aplicaciones. Pregunte por nuestro APIMS SX5 con funciones Stream Switcher.
-Conmutación de flujos para la monitorización de gases a granel de pureza ultra alta
Monitorización multiespecie en tiempo real para TODOS los gases críticos
Impurezas en gases electrónicos a granel, incluidas trazas de O2,
H2, H2O, CH4, CO, CO2, N2, Ar, etc
- ¡NOVEDAD! Capacidad opcional de conmutación automática de flujos
con el armario de gases conmutador de flujos SX5.
Cambie automáticamente entre hasta cinco gases a granel
- Rango de medición sin precedentes de PPT a 100% con la exclusiva configuración de ionización de doble fuente
- Fácil de usar con interfaz de usuario integrada y calibraciones automáticas programadas
- El mejor servicio de atención al cliente y equipo de aplicaciones del sector
---