Analizador de gas TIGER OPTICS™ T-I MAX™

de hidrógenode clorurode vigilancia

ANALIZADOR DE TRAZAS DE GAS CLORURO DE HIDRÓGENO DE NUEVA GENERACIÓN Puede pasar mucho tiempo "buscando" Contaminantes Moleculares en el Aire (AMC) cuando se descubra el catastrófico rendimiento del producto o la pérdida de rendimiento en la fase de prueba final de su dispositivo; o puede desplegar nuestro analizador de HCl TIGER OPTICS™ T-I Max™ para localizar y monitorizar estos generadores de defectos invisibles, que se encuentran comúnmente al acecho en y alrededor de equipos, personal, portadores de obleas y bahías de salas limpias. En el procesamiento avanzado de semiconductores actual, los gases residuales, vapores y productos químicos que emanan de los diversos materiales, las operaciones de procesamiento acelerado y el almacenamiento y transporte de sustratos se han convertido en una preocupación crítica. Tanto es así que la Hoja de ruta tecnológica internacional para semiconductores (ITRS) destaca ahora la contaminación AMC como un reto técnico clave para lograr y mantener bajos índices de defectos en los dispositivos. Los analizadores de HCl T-I Max, basados en nuestra nueva plataforma global, pueden detectar y controlar continuamente el HCl con una combinación sin precedentes de sensibilidad, selectividad y velocidad de respuesta. Nuestro GO-cart para AMC añade flexibilidad adicional al proporcionar una plataforma móvil que puede trasladarse rápidamente a diferentes puntos críticos de monitorización. BENEFICIOS Técnica de medición sensible y absoluta mediante espectroscopia de anillo descendente en cavidad (CRDS) Velocidad de respuesta y límites de detección de partes por billón notablemente mejorados Sin deriva, con calibración trazable a los principales laboratorios de referencia del mundo Menor coste de propiedad: sin mantenimiento