Sistema de recuperación de gas ArgonØ ™

de aspiración

El ArgonØ ™ recicla el gas en un bucle cerrado de un número limitado de herramientas de proceso, esto da la gran ventaja sobre las posibles instalaciones de toda la planta de fácil, la retroalimentación directa en las plantas de fabricación de obleas existentes, así como permitir una instalación por etapas, en línea con las herramientas de proceso, en nuevas instalaciones "ground up". El ArgonØ ™ recicla >95% de los gases de escape del horno de vuelta al proceso a niveles de pureza que superan los requisitos Semi PV6-1110, eliminando 1,000s de ppm de contaminación en el proceso. El ArgonØ ™ está diseñado para recuperar, purificar y reciclar el gas de purga de los hornos de vacío, tanto CZ como DS, utilizados para crecer lingotes de silicio para su posterior fabricación en células solares cristalinas. El sistema se adapta de forma única a las bombas de vacío selladas con aceite y secas, utilizadas para evacuar los hornos, y utiliza una tecnología desarrollada conjuntamente con la Universidad de Cambridge que permite tasas de reciclaje de al menos el 95%. La pureza del gas argón reciclado supera la norma SEMI PV6-1110. El sistema es un punto de uso y puede conectarse a varios hornos de vacío, con un límite máximo de flujo de reciclado de aproximadamente 15 Nm3/h, lo que permite una adaptación directa a los hornos de vacío actuales, así como una instalación por fases, en línea con la instalación de los hornos de vacío, en los nuevos establecimientos. Con un retorno de la inversión (ROI) de 2 a 3 años, el ArgonØ ™ representa una excelente relación calidad-precio y donde el helio también se recicla el ROI mejora aún más a típicamente 6-12 meses. Además, el ArgonØ ™ reduce la huella de CO2 de un típico horno de vacío en 3-5 toneladas por año, junto con las mejoras en la seguridad del suministro.