El PATIO del SAM 400 es una alta herramienta de rendimiento permitiendo las investigaciones acústicas no destructivas para el altos análisis de la producción, control de calidad y usos de la investigación. Ofrece un nuevo escáner de alta velocidad del movimiento linear y nuevas tecnologías del rf y del transductor de hasta 400 megaciclos, controlados a través de una interfaz gráfica fácil de usar.
Un nuevo concepto maestro/satélite permite a órdenes de cuatro transductores adquirir imágenes acústicas simultáneas.
Construido a los estándares industriales del semiconductor alrededor de una plataforma de la base que utilice la última tecnología de la producción y de la investigación, la EXPLORACIÓN del PATIO del SAM puede manejar exactamente las obleas hasta 400 milímetros. Las frecuencias del ultrasonido se extienden hasta 500 megaciclos con los transductores a partir de 3 megaciclos - 400 megaciclos.
Gama de exploración: x=250 µm-430 milímetro, y=250 µm-430 milímetro, z=100mm
El foco auto es se aplica a cada transductor
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