Sistema de limpieza en seco

automáticopara obleas

El sistema de limpieza posterior al pulido en húmedo y en seco PCS elimina las partículas y la contaminación y crea superficies de oblea perfectamente limpias. La herramienta manipula obleas de hasta 300 mm de diámetro. La máquina se adapta a sus necesidades y se integra perfectamente en su fábrica, tanto si se trata de una configuración de paso completo como de medio paso, con o sin soporte. Características y ventajas Integración de carro de entrada húmeda Excelente limpieza de superficies Manipulación sin carro Proceso de medio paso opcional Monitorización avanzada del proceso Transporte de obleas múltiples al puerto de carga OHT