Sistema de limpieza para obleas

de aguaautomáticopara la industria de los semiconductores

Unas obleas limpias son la base de unos productos semiconductores excelentes. El sistema de limpieza final RENA totalmente automatizado proporciona superficies de máxima calidad para el último paso del proceso de fabricación de obleas. Los sofisticados procesos y la programación avanzada lo convierten en la solución perfecta para la producción de obleas de semiconductores con un alto rendimiento y requisitos exigentes. Características y ventajas Limpieza superficial superior para obleas de hasta 300 mm Manipulación totalmente automatizada sin soporte o con soporte LMC Acabado perfecto con secador RENA Marangoni Interfaces SEMI estándar para una integración sencilla en la fábrica