Banco para ensayos por vía húmeda de inmersión Evolution

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Evolution: banco húmedo totalmente automatizado para la fabricación de semiconductores en seco Para el procesamiento en húmedo de obleas semiconductoras de alto rendimiento, RENA ofrece "Evolution", un banco húmedo lineal totalmente automatizado. Con "Evolution" se pueden llevar a cabo múltiples procesos de tratamiento de superficies, como limpieza, grabado, decapado y secado. Esta estación química tiene un diseño modular flexible con un robusto robot de transferencia y puede personalizarse según sus secuencias de proceso específicas. La "Evolution" permite el procesamiento por lotes de obleas simultáneas, así como el procesamiento de seco a seco. Las principales características de esta plataforma son el alto rendimiento de la producción, el bajo coste de funcionamiento y el excelente control del proceso. Este control superior del proceso se consigue mediante el software IDX Flexware, uno de los más avanzados de la industria de semiconductores con características y capacidades únicas. Tanques de proceso especializados como TruEtch, FluidJet y SiEtch y tanques ultrasónicos y megasónicos, así como el secador patentado Genesis Marangoni, pueden integrarse en "Evolution" para satisfacer las especificaciones de proceso del cliente. Todos los sistemas RENA son compatibles con la interfaz SECS/GEM del host de fábrica. Características y ventajas Funcionamiento totalmente automático, de secado a secado tamaños de oblea de 100 mm a 200 mm lotes de 25, 50 y 100 obleas Software de control IDX Flexware Lotes y recetas simultáneos Monitorización avanzada del proceso Pantalla táctil HMI integrada Opciones de interfaz SECS/GEM Mini-ambiente Clase 1 Versión de acero inoxidable para aplicaciones con disolventes Flexible y actualizable Adaptado a las especificaciones del cliente Mayor tiempo de actividad y rendimiento Mayor vida útil del producto químico y del depósito